22831: Kombinierte H2-Abtrennung und H2-Verdichtung mit Metallhydriden im Druckbereich bis 20 bar
Wasserstoff ist ein wichtiger Rohstoff und soll zukünftig als Energieträger für regenerative Energien eine weitere bedeutende Rolle erlangen. In der Halbleiterindustrie und bei der Herstellung von Photovoltaik-Modulen wird H2 in großem Umfang als Trägergas für Abscheidungsprozesse benötigt, u. a. in Epitaxie-Anlagen und bei der Wafer-Herstellung. Der dabei durch Inertgas verdünnte Wasserstoff wird nach seiner Nutzung […]